MEMS Sensor微機電傳感器對現(xiàn)在的電子產品而言已經不是新產物，MEMS傳感器是把模擬的傳感器直接結合電路組件透過半導體制成生產的產物，借此縮小通過傳統(tǒng)工藝難以縮小的傳感器，舉凡智能手機、汽車、游戲機內都可看到這類的產品，不過普渡大學的Jason Vaughn Clark要讓MEMS傳感器再次革新，他聲稱已經開發(fā)出一套結合Electro micro metrology（EMM）的工藝制程，可讓傳感器進行自我校正，提供更精確的感測能力，這也是業(yè)界首個不需要通過外部裝置的自我校正MEMS傳感器架構。普渡大學認為這項技術有助于犯罪搜證、環(huán)境檢測與醫(yī)療診斷提供更好的效果。